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LDI曝光機(jī)精密大理石直線電機(jī)應(yīng)用方案

LDI曝光機(jī)精密大理石直線電機(jī)應(yīng)用方案

    所屬行業(yè):半導(dǎo)體
    設(shè)備名稱:LDI曝光機(jī)
    行業(yè)應(yīng)用:線路板外層、柔性線路板等
    使用環(huán)境:恒溫車間
    結(jié) 構(gòu):大理石龍門
    配置說明:KYAC4000系列電機(jī)、RSF光柵編碼器、Rexroth/THK導(dǎo)軌、ACS運(yùn)動(dòng)控制器
    方案特點(diǎn):采用智贏無無鐵芯直線電機(jī),最高可以實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)軸千分之一的速度波動(dòng);ACS的運(yùn)動(dòng)控制提高整個(gè)裝備的運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性;專業(yè)的組裝、設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)確保方案穩(wěn)步推進(jìn);雷尼紹激光干涉儀提供運(yùn)動(dòng)精度報(bào)告。
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